集積回路製造用グラファイト電極
Jincheng Graphite はグラファイト製品の専門メーカーとして、集積回路製造向けに高導電性と高い熱安定性を備えたグラファイト電極を提供しています。これらの電極は、リソグラフィー、エッチング、蒸着などの主要プロセス向けに特別に設計されており、高精度の加工能力、長い耐用年数、低い熱応力を備えています。これらはハイエンドの半導体製造業界で広く使用されています。-
コアアドバンテージ
高い導電性と熱安定性
高純度のグラファイト基板を利用し、ナノスケールの表面処理技術を組み合わせることで、導電率は 10^5 S/m 以上に達し、熱膨張係数は 3.5×10⁻⁶/度以下になります。これにより、高温プロセス中の構造の安定性が確保され、ウェーハの熱変形が防止されます。
精密加工対応
レーザー切断、プラズマ エッチングなどを通じて、0.05 ～ 3 mm の範囲の電極厚とカスタムの複雑な形状をサポートし、5nm 以下の高度なプロセスのウェーハ処理装置に適しており、高精度の位置合わせの要件を満たします。-
耐食性と耐摩耗性
表面には化学的不動態化処理が施されています。 HF、HNO₃ などによる強酸腐食試験に合格し、1500 度以上の温度に耐えることができるため、電極の寿命が大幅に延長され、プロセス中断のリスクが軽減されます。
アプリケーションシナリオ
集積回路の製造に使用されるグラファイト電極は、プラズマ エッチング（深いサブミクロンのトレンチ処理用）、化学蒸着（CVD）、物理蒸着（PVD）などの主要プロセスで広く使用されています。-低熱応力特性により、ウェーハの不均一な熱膨張によって引き起こされる欠陥を効果的に防止でき、ハイエンド チップの歩留まりを 99.8% 以上に高め、チップ製造プロセスの小型化と高密度集積化の実現に役立ちます。-
技術仕様
| 電気伝導率 | 10^5 S/m 以上 (室温) |
| 熱膨張係数 | 3.5 × 10⁻⁶ / 度以下 |
| 表面粗さ | Ra 0.2μm以下 |
| 耐食性 | 強酸、強アルカリ、プラズマ環境での試験に合格 |
| 機械的強度 | 圧縮強度 120MPa以上 |
金城黒鉛の品質保証
Jincheng Graphite は 18 年間にわたりグラファイト製品の分野に深く関わってきました。同社は、低温焼結技術と ISO9001 品質管理システム認証に関する独自の独立した知的財産権を所有しています。{2}}原材料の精製（純度99.99%以上）、成形、プレスから高温焼結までのプロセス全体を厳密に管理し、製品が清浄度（ISO 4グレード）、熱安定性（±0.5度）、表面平坦度（0.1μm以下）などの半導体業界の厳しい要件を確実に満たしていることを保証します。{6}}
協力の約束
Jincheng Graphite は、無料のサンプル テスト、72- 時間の技術対応、小規模試作のサポートを提供しています。-お客様のプロセス要件に応じて、電極寸法、導電性能パラメータ、表面処理計画をカスタマイズできます。同社は、世界の半導体企業に高性能で信頼性の高いグラファイト電極ソリューションを提供することに尽力しています。プロフェッショナルな技術、迅速な納品、継続的なイノベーションにより、同社は集積回路製造における熱管理と精密加工の分野の中核パートナーとなっています。
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