高温真空炉用のカスタムサイズのグラファイト断熱リングとフロー ガイド リングは、-太陽光発電、半導体、結晶シリコン製造などのハイエンド分野におけるコア熱システムの重要な精密コンポーネントです。{2}これらは、究極の温度制御精度、高純度のクリーン環境、効率的な指向性熱流に対する日本と韓国の太陽光発電および半導体装置メーカーの厳しい要件を満たすように特別に設計されています。{4}}
この製品は、純度 99.99% 以上の超高純度等方性黒鉛で作られています。{0}{1} 5 軸回転 CNC テクノロジーで加工されており、ミクロンレベルの精度のカスタマイズを実現しています。-1600 度から 2000 度の超高温真空条件に適しています。 CZ単結晶炉、多結晶シリコンインゴット炉、ゾーンメルトシリコン単結晶炉、最先端セラミック焼結炉などの基幹設備に幅広く使用されています。
中子準備工程のポイント
原材料の選択: コアコンポーネントは、99.99% 以上の超高純度の静水圧グラファイトを使用して製造されています。{0}}等方性グラファイトは、あらゆる方向に優れた物理的および機械的特性を示し、高温および複雑な熱応力下でリング部品の構造安定性と寸法精度を保証します。一部の特殊な用途では、純度 99.995% またはさらに 99.999% の核グレードのグラファイトを使用できます。
断熱リング
真空炉の熱場システムでは、グラファイト断熱リングがその低い熱伝導率（高温ではグラファイトの熱伝導率は金属の熱伝導率よりもはるかに低い）と高い反射率（グラファイトの特別に処理された表面が赤外線熱放射の大部分を反射することができる）を利用して、高温ゾーンから低温ゾーンへの熱の伝達を効果的に遮断し、それによって炉内に安定した制御可能な軸方向の温度勾配を形成します。安定した温度勾配が結晶の品質と成長速度を確保する鍵となるため、これは結晶成長（単結晶シリコンなど）にとって非常に重要です。
フロー ガイド リング: グラファイト フロー ガイド リングは、正確に設計された流路またはブレード構造を通じて、保護ガス (アルゴンなど) が特定の経路に沿って炉内を流れるようにガイドします。この方向性のある流れにより熱場の分布が最適化され、熱がより均一に材料に伝達されるようになります。同時に、流れるガスは結晶成長中に生成される不純物や揮発性物質も除去することができるため、最終製品（単結晶シリコンインゴットなど）の純度と品質が向上します。-
フローガイドリング
グラファイト フロー ガイド リングは、精密に設計された流路またはブレード構造を通じて、保護ガス (アルゴンなど) が特定の経路に沿って炉内を流れるようにガイドします。この方向性のある流れにより熱場の分布が最適化され、熱がより均一に材料に伝達されるようになります。同時に、流れるガスは結晶成長中に生成される不純物や揮発性物質も除去することができるため、最終製品（単結晶シリコンインゴットなど）の純度と品質が向上します。-
私たちを選ぶ理由
1. 当社はソース自己加圧黒鉛を社内で製造しており、安定した制御可能な材料特性を確保しています。-
2. 顧客の暖房システムに正確に適応する、成熟したカスタマイズされた設計と処理能力
3. 製品の品質と信頼性を保証するために、厳格な品質管理システムが整備されています。
4. お客様の研究開発・量産ニーズに応える迅速な対応・納品
5. 専属の海外技術チーム、現地サービスとサポート
| パラメータ | ユニット | グラファイト絶縁リング（型式：GIR-9999） | グラファイトフローガイドリング（型式：GFR-9999） | 一体型リング（型番：GIRF-99995） | 試験方法 |
|---|---|---|---|---|---|
| 基本特性 | |||||
| 炭素含有量 | % | 99.99 以上 | 99.99 以上 | 99.995 以上 | GB/T 3521-2008 |
| 灰分含有量 | ppm | 50以下 | 50以下 | 30以下 | ICP-MS 検出 |
| 密度 | g/cm3 | 1.85-1.90 | 1.85-1.90 | 1.88-1.93 | アルキメデス法 |
| 気孔率 | % | 10以下 | 10以下 | 8以下 | 水銀侵入 |
| 熱特性 | |||||
| 最高動作温度 | 程度 | 2000 | 2000 | 2200 | 熱分析 |
| 熱伝導率（1000℃） | W/(m·K) | 80-120 | 80-120 | 90-130 | レーザーフラッシュ方式 |
| 熱膨張係数（25～1000度） | 10⁻⁶/度 | 2.5-3.0 | 2.5-3.0 | 2.4-2.8 | 膨張計 |
| 耐熱衝撃性 (RT ↔ 1500 度) | サイクル | 50以上 | 50以上 | 60以上 | コールド＆ホット交互テスト |
| 機械的性質 | |||||
| 曲げ強さ（25度） | MPa | 40以上 | 40以上 | 45以上 | 三点曲げ- |
| 圧縮強度（25度） | MPa | 120以上 | 120以上 | 130以上 | 一軸圧縮 |
| ショア硬度 | - | 60-70 | 60-70 | 65-75 | ショアD硬度計 |
| 寸法仕様 | |||||
| 一般的なサイズ範囲 (内径×外径×高さ) | mm | カスタマイズ可能 (例: 200×300×50) | カスタマイズ可能 (例: 150×250×40) | カスタマイズ可能 (例: 250×350×60) | 三次元測定機 |
| 寸法許容差 | mm | ±0.02 | ±0.02 | ±0.01 | 三次元測定機 |
| 表面粗さ（Ra） | μm | 0.8以下 | 0.8以下 | 0.6以下 | 表面形状計 |
| 運用パフォーマンス | |||||
| 温度均一性 | 程度 | ±3以下 | ±3以下 | ±2以下 | 熱電対測定 |
| 推定耐用年数 | サイクル | 500以上 | 500以上 | 600以上 | 産業用フィールドテスト |
| 包装 | |||||
| 標準梱包 | 個/箱 | 1 | 1 | 1 | - |
| 梱包材 | - | 真空バッグ + 耐衝撃フォーム + 木製ケース | 真空バッグ + 耐衝撃フォーム + 木製ケース | 真空バッグ + 耐衝撃フォーム + 木製ケース | - |
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