グラファイトサポートリング（サーマルフィールドシステムの安定した礎石）

コア機能
耐荷重サポート: るつぼとシリコン材料の合計重量 (最大 1,200kg) をサポートし、熱場システムの垂直方向の位置決め精度を保証します。
構造接続: 黒鉛るつぼと支持ロッドの間の移行コンポーネントとして機能し、回転力を伝達し、るつぼの正確な速度制御 (0.1 - 10 rpm) を可能にします。
熱場の位置決め: るつぼの垂直位置を固定し、融液表面と結晶成長界面の間の距離を一定に保ちます。
応力緩衝: 熱膨張による応力を吸収し、部品の熱変形による詰まりや漏れを防ぎます。 材料の選択
推奨される材料: 高純度静水圧加圧グラファイト-、炭素含有量が 99.99% 以上、灰分含有量が 20 ppm 以下、抗曲げ強度が 60 MPa 以上である-

強化されたデザイン

主要な応力がかかる領域は炭素繊維で強化されており、強度が 40-60% 向上しており、大型シリコン ウェーハの製造に適しています。
表面処理: 耐食性と耐用年数を向上させるために、オプションの SiC コーティングまたは酸化防止処理を適用できます。-
コアの特性
超高強度: 高温 (1500 度) で、圧縮強度は 50 MPa 以上、曲げ強度は 40 MPa 以上で、重大なクリープはありません。
精度管理：寸法公差±0.03mm、表面粗さRa0.8μm以下で組立精度を確保。
熱安定性: 熱膨張係数は 1.8 × 10⁻⁶/K 以下、高温での変形は 0.1 mm 未満で、位置決め精度を保証します。
磁気抵抗: グラファイトサポートロッドと組み合わせると、摩擦係数は 0.15 以下となり、摩耗が軽減され、コンポーネントの寿命が延びます。
化学的不活性: 溶融シリコンや石英と反応せず、汚染を回避し、半導体純度要件を満たします。技術的な利点
安定性向上：垂直位置決め精度±0.05mm、結晶成長のばらつきを低減し、シリコンウェーハの平坦性を向上
長寿命: 高強度材料設計により 12～18 か月の寿命が実現し、メンテナンス コストが削減されます。{0}
幅広い互換性: 国内外の主流の単結晶炉ブランド（Jingliang Electric Machinery、Licheng CNC、NTC など）と互換性があります。{0}